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加工

ALD-150PE原子层沉积

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2021-10-19     浏览次数:    

设备名称

 原子层沉积

型号

 ALD-150PE

制造商

 无锡科特维尔

配置与功能

 1、采用晶圆测温仪测温的样品台,并在软件内对样品台表面晶圆温度进行校正;

 2、金属前驱体源不经过等离子体发生器,减少等离子体发生器污染;

 3、系统配有用于防止真空计污染的过滤网以及气动隔膜阀;

 4、兼容热ALD与等离子体ALD,当不使用等离子体时可以使用热型ALD沉积工艺。

主要技术

指标

 1、极限真空<5E-3Torr,额定抽速65m³/h;

 2、加热温度RT-400℃,控制精度±1℃;

 3、用于吸附、分解未反应的前驱体源的真空泵前级热阱,加热温度500℃,控制精度±1℃;

 4、独立辐射加热源加热的等离子体发生腔室,最高加热温度150℃,温度控制精度±1℃。

设备联系人

 陈兴、季亚军、陈军飞

联系方式

 18955390311、18297520541、17856914601

设备照片

 

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