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郝跃院士安徽省工作站

研究方向

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2020-7-14     浏览次数:    

研究方向1:金刚石外延设备国产化

  以郝跃院士科研团队在金刚石研究领域已有的研究成果为基础,针对金刚石外延设备国产化的关键技术开展重点攻关,主要涉及:流场、温场设计与仿真,高密度、大直径微波等离子源的设计与优化,单晶/多晶金刚石材料原位监测与控制系统设计与实现,高真空系统设计与实现,实时监测控制软件设计与实现,SPC过程控制软件设计与实现等。





研究方向2:半导体级/宝石级金刚石材料制备

  研究高质量、大尺寸半导体级和宝石级金刚石材料快速、高效生长技术,涉及:金刚石CVD生长流场控制、温场控制、反应气体流量控制、均匀性控制、生长速度与缺陷控制等关键技术。实现5mm以上的超厚宝石级金刚石材料制备,为企业孵化做技术储备。




 研究方向3:金刚石材料与器件超高精密加工和检测

  研究高质量金刚石材料生长及超高精密加工技术,研究金刚石半导体器件的制备工艺与表征,设计器件制备工艺流程设计与优化,器件特性表征与机理分析。开发金刚石基复合材料,瞄准国家重大新型战略需求,开发面向高端技术应用的新型半导体材料。




研究方向4:金刚石生长设备及金刚石衬底产品的成果转化

  储备金刚石产业化的技术需求,其中包括宝石级金刚石单晶生长及工艺技术和外延设备均初步达到产业化标准,孵化金刚石材料或设备销售的高新技术企业。


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