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郝跃院士安徽省工作站

院士工作站简介

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2020-7-14     浏览次数:    



  郝跃院士安徽省工作站于2018年12月经安徽省科技厅批复设立,于2019年4月在西安电子科技大学芜湖研究院揭牌成立。工作站以金刚石超宽禁带半导体材料制备、工艺研发及关键设备为主要研究方向,致力于实现金刚石外延设备和晶圆级基片的技术突破与产业化。在郝跃院士及其团队的指导下,工作站现有科研人员十余人,建成约40平米的专用净化实验室,2019年工作站已完成一台自主设计的微波等离子体化学气相沉积设备的组建,有效地促进了设备国产化。

  工作站将围绕超宽禁带半导体关键设备国产化、大尺寸材料生长关键技术攻关及产业化,力争三到五年内建成集超宽禁带半导体技术研发、成果转化与人才培养为一体的基地。


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